4118ccm云顶集团

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪

产品型号:SuperView W1

产品名称:光学3D表面轮廓仪

  • 影像系统:1024×1024
  • 光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
  • 干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
  • XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动
  • Z轴行程:100mm,电动
  • Z向扫描范围:10mm
  • Z向分辨率:0.1nm
  • 可测样品反射率:0.05%-100%
  • 水平调整:±5°手动
  • 粗糙度RMS重复性:0.005nm
  • 台阶高测量:准确度0.7%,重复性0.1% 1σ
  • 主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
  • 生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
  • 注释:更多详细产品信息,请自行下载解决方案查阅或者联系我们获取

 

详细信息

  一、 产品描述

  SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

 

  SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、    产品功能

1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;

2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;

3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;

4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;

5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;

6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

7)具备word、excel等数据报表导出功能。

三、    应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

超精密加工.光学透镜

精密加工.发动机叶片

精密加工.金字塔型金刚石磁头

标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度

 

四、性能特色

1.高精度、高重复性

1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

2)独特的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得极高的测量重复性。

2.一体化操作的测量分析软件

1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3.精密操纵手柄

  集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

 4.双重防撞保护措施

  除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。

5.双通道气浮隔振系统

  既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

 

五、应用案例:

复合材料测量

西华大学水机叶片磨损检测

清华大学超光滑陶瓷样件测量

北航超疏水表面形貌检测

 

六、样品测试报告:

  点击表格内图片或文字可查看详细报告数据

 

 光学玻璃镜片样品测试报告

金属片表面摩擦磨损样品测试报告

石英砂样品测试报告

手机配件样品测试报告

超光滑凹面样品测试报告

薄膜粗糙度测试报告

微光学器件样品测试报告

微纳结构样品测试报告

微透镜阵列样品测试报告

 

4118ccm云顶集团  

 

七、技术指标:

1.技术规格表

型号

W1

W1-Pro

光源

白光LED

影像系统

1024×1024

干涉物镜

10×(2.5×,5×, 20×,50×,100×可选)

光学ZOOM

0.5×(0.75×,1×可选)

标准视场

0.98×0.98㎜

最大视场

6×6㎜

物镜塔台

3孔手动(5孔电动可选)

XY位移平台

尺寸

320×200㎜

300×300mm

移动范围

140×100㎜

200×200mm

负载

10kg

控制方式

电动

水平调整

±4.5°手动

Z

聚焦

行程

100㎜

控制方式

电动

Z向扫描范围

10 ㎜

Z向分辨率

0.1nm

可测样品反射率

0.05%~100%

粗糙度RMS重复性

0.005nm

台阶测量

准确度

0.7%

重复性

0.1% 1σ

仪器尺寸

900×700×604㎜

900×700×1500㎜

仪器主机重量

<150㎏

<160㎏

使用环境要求

无强磁场,无腐蚀气体

工作温度:15℃ ~30℃,温度梯度 < 1℃/15分钟

相对湿度:5%-95%RH,无凝露

环境振动:VC-C或更优

 

4118ccm云顶集团:粗糙度性能参数依据ISO 25178国际标准在实验室环境下测量Sa为0.2nm硅晶片Sq参数获得;

4118ccm云顶集团 台阶高性能参数为依据ISO 5436-1:2000标准在实验室环境下测量4.7µm台阶高标准块获得。

 
 

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

其他相关产品